翔鵬株式会社は大手半導体を製造し、環境保護を一層進めるため、生分解性のエッチング液と洗 浄剤を使用しています。これにより、地球環境の保全に寄与しています。特に、フラットパネルディス プレイ産業における電子材料に注力しています。
金属の攻撃を抑制する/PM プロセス。
お客様指定の粗さまでの低温エッチング。
高い選択性／性能。
低コストの交換品。
3層リソグラフィのリワーク。
低TOCおよび溶剤不使用。
残留物少なめのレシピ。